ICの回路パターンをウェハへ焼き付ける リソグラフィー工程の要となる装置です。

レジストをシリコンウェハに塗りつけ、露光後に回路パターンを浮かび上がらせる装置です。

超微細なナノの世界を観察するために電子顕微鏡を使い研究しています。