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本館(相模)

本館

検査装置

原料や新開発品、製品を検査するために豊富な検査装置を取り揃えています。

  • 自動滴定装置
  • ガストロマトグラフ
  • 水分計
  • 紫外分光光度計
  • 自動粘度測定装置
  • 高速液体クロマトグラフィー
  • ゲル浸透クロマトグラフ
  • 核磁気共鳴装置
  • 誘導結合プラズマ質量分析装置
  • イオンクロマトグラフ
  • 膜厚計
  • 液中パーティクルカウンター

液浸露光装置

最先端の液浸露光装置です。東京応化はこの装置を研究開発用にレジストメーカーとして最初に導入し、研究開発を行なっています。

  • ArF液浸露光装置

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