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用語集

フォトリソグラフィを探る

開発以来、常に最先端を独走。独自性、優位性あるTOKのコアテクノロジー

身近な“最先端”を支える微細加工技術

携帯電話やスマートフォン、パソコンから液晶テレビ、自動車…。あなたの身近なところで活躍するさまざまな機器の内側で、なくてはならない存在なのがTOKの微細加工技術です。
微細加工技術とは、感光性の有機樹脂=フォトレジストを使って、マイクロメートルやナノメートルといった、肉眼では見えないほど小さな部分を加工する技術。
TOKは、半導体をはじめ、電子、化学、印刷などさまざまな業界のお客様企業に微細加工技術を提供。その中でも、TOKのコアテクノロジーとなるのが「フォトリソグラフィ」です。

身近な“最先端”を支える微細加工技術

微細加工技術の主流、フォトリソグラフィとは?

微細加工技術の中核となる「フォトリソグラフィ」。
これは写真の原理と似た技術で、光を利用して極めて微細な加工を行うテクノロジーです。
まず、フォトレジストという感光性樹脂に設計図・模様などのマスクパターンを転写し像を描きます。そのフォトレジストのパターンを利用して微細加工を行うのです。

フォトリソグラフィ工程

TOKは、このフォトリソグラフィをコアテクノロジーとして、最先端の微細加工技術を開拓。
1968年に半導体用ネガ型フォトレジストを、1972年に国内初の半導体用ポジ型フォトレジストを開発。
さらには、半導体プロセス機器・液晶画面用製造機器までも開発。国内はもちろん海外でもトップクラスのシェアを占めています。

微細加工が実現する未来の便利、快適、楽しさ

例えば携帯電話やスマートフォンは、より小さく、薄く、軽く、さらに多機能に。薄型テレビならより滑らかで鮮やかな画面に。自動車ならより安全で、より快適に。そのため、微細加工の最も進んだ半導体製造分野では、ナノメートル(nm)単位の加工精度が求められています。
分子レベルの極めて細かい世界での加工技術に挑戦し、実現するTOKの微細加工技術。その進化・深化は、そのまま未来の便利、快適、楽しさにつながっています。

微細加工が実現する未来の便利、快適、楽しさ

微細加工技術

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